最近の「SSLCHINA 2021:ミニ/マイクロLED技術産業アプリケーションフォーラム」では、中国マイクロ半導体装置(上海)有限公司MOCVDプロセス技術ディレクターの胡建生は、中国マイクロセミコンダクター(上海)株式会社による青と緑のミニLED生産に使用されるプリズモUniMax® MOCVD機器を共有しました。最新の動向。
Hu Jianzhengは、照明に使用される従来のLEDと比較して、ミニ/マイクロLEDエピタキシャルウエハーは波長の均一性と粒子数に対してより厳しい要件を持っていることを導入しました。エピタキシャルウエハーの波長均一性を向上させ、粒子を低減するためには、新しいMOCVDプラットフォームを開発する必要があります。ミニ/マイクロLEDの商用アプリケーションを実現するように、数量。
中国マイクロエレクトロニクスが開発した最新のMOCVDプラットフォームPrismo UniMax®は、局所的な温度フィールドの微調整と流動場の最適化を通じて、4インチと6インチの基材で成長した青緑色のLEDを通じて、良好な結果を達成しました。41×4"構成の条件下では、青色LEDチップ内および青色LEDチップ間の波長の均一性もそれぞれ、0.71 nmと0.87 nm(1σ)非常に高い。10×6"構成の条件下で、青色LEDチップの波長が均一性能は0.84nm(1σ)に達し、100mm×100mm角板の波長の最大および最小差は2.4nmと低い。平均波長530nmの6インチグリーンLEDの場合、オンチップ波長均一性は1.04nm(1σ)、100mm×100mm角チップの最大および最小の波長差はわずか4.6nmです。
中国マイクロエレクトロニクスの公式ウェブサイトによると、構成の面では、プリズモUniMax® MOCVD機器は、同時に108 4インチまたは40 6インチの高性能窒化ガリウムベースの青緑色ミニLEDエピタキシャルウエハースを同時に処理することができる最大4つの反応室を持っています。調整は164 4インチまたは72 6インチエピタキシャルウエハーを同時に処理するために拡張することができ、そのプロセス能力は8インチエピタキシャルウエハースを成長させるために拡張することができます。さらに、装置は785mmの大口径のグラファイトの皿が装備され、装置の生産能力を大きく改善し、効果的にMiniLEDエピタキシャルウエハーの生産コストを減らす。
プリズモUniMax® MOCVD機器は、今年6月に正式に発売され、主にGaNベースのMiniLEDエピタキシャルウエハーの量産に使用されたと報じられている。12月9日、中国マイクロエレクトロニクスは、プリズモUniMax® MOCVD機器の受注が100のキャビティを超えたと発表した。
中国マイクロセミコンダクター機器は、2004年に設立され、上海に本社を置いていることが分かります。2019年には上海証券取引所の科学技術イノベーション委員会に上場しました。主に、ハイエンド半導体装置やパン半導体装置の研究開発、製造、販売に取り組んでいます。製品の流通には、CCPエッチング装置、ICPエッチング装置、深層シリコンエッチング装置、MOCVD機器、VOC浄化装置があります。
中でも、中国マイクロエレクトロニクスが開発したPrismoシリーズMOCVD装置は、青色-緑色のLED、深紫外線LED、パワーデバイスなど、グループIII窒化物をベースにした各種デバイスの製造に広く使用されています。現在、中国マイクロのMOCVD機器は、業界の主要なLED生産ラインで量産化されています。
2020年、中国マイクロエレクトロニクスは営業利益22億7,300万元を達成し、前年比16.76%増加しました。上場企業の株主に帰属する当期純利益は4億9,200万元で、前年比161.02%増加しました。2021年上半期の中国マイクロの営業利益は13億3900万元で、前年比36.82%増加。上場企業の株主に帰属する純利益は3億9,700万元で、前年比233.17%増加しました。
