最近、厦門大学の研究チームが、面取りされたピラミッド/テーブル-型の人工ナノ構造を革新的に設計しました。 ナノインプリント、ドライエッチング技術、ウェットエッチングプロセスの組み合わせにより、発光波長は234 nm（AlN）8 /（GaN）2と短くなります。活性層は（0001）、（10-13）、（20- 21）細かく制御可能な角度を持つ結晶面のグループ。 興味深いことに、これらの結晶面は、ナノ構造における深紫外線の伝播と抽出モードを制御し、従来の平面構造における出力光の小さな円錐角の制限を効果的に打ち破り、深紫外線の抽出効率を大幅に向上させることができます。
研究によると、結晶面-制御可能な逆ピラミッド/テーブル構造の導入後、TMおよびTE偏光は、平面構造と比較して、それぞれ5.6倍および1.1倍向上し、全光度が向上します。 234 nmの深紫外線波長での強度は、ほぼ2パーセント増加します。 回数。 この研究は、深紫外線短-波光-発光デバイスの効率を改善するための新しいアイデアを提供し、マイクロ-サイズのLEDや深紫外線検出器。
図1.（a）ナノインプリントによるナノポアアレイの製造プロセスの概略図。 （b）-（c）（AlN）8 /（GaN）2超短-周期超格子の構造特性。 （d）-（f）ナノホールの微視的形状および（g）-（h）逆ピラミッド/テーブルナノホールアレイ
図2.（a）従来の平面の円形ナノホールおよび面取りされたピラミッド/テーブルナノホールのフォトルミネッセンススペクトル。 （b）3つのナノ構造の因子分布プロットの内部量子効率、TE / TM光抽出効率、および全体的な光度の向上。
The related research results were published in the Royal Society of Chemistry journal Nanoscale under the title of "Enhancing deep-UV emission at 234 nm by introducing a truncated pyramid AlN/GaN nanostructure with fine-tuned multiple facets" and recommended as the cover research work of the journal ( Back Inside Cover). The relevant testing work was supported by the research group of Professor Yang Zhizhong of National Taiwan University.
